최근 구조용세라믹스에 대한 중요성이 대두되면서 금속재료보다 높은 내열성, 내마모성, 낮은 비중, 현저히 높은 사용온도의 특성을 지닌 질화규소의 Valve, Tappet 등 고성능엔진부품개발을 포함한 금속압출 다이스 제품화, Guide Pin등의 내마모 부품 개발, 방전가공 ...
최근 구조용세라믹스에 대한 중요성이 대두되면서 금속재료보다 높은 내열성, 내마모성, 낮은 비중, 현저히 높은 사용온도의 특성을 지닌 질화규소의 Valve, Tappet 등 고성능엔진부품개발을 포함한 금속압출 다이스 제품화, Guide Pin등의 내마모 부품 개발, 방전가공 질화규소의 개발등 여러분야의 연구가 활발히 진행되고 있다. 하지만 해결해야 될 두가지의 큰 문제점으로 인하여 세라믹제품의 실용화에 제약을 받고 있다. 첫째는 세라믹스에서 가장 중요한 기계적 특성인 파괴인성을 증진시키는 것이며, 또 다른 문제점은 높은 제조단가 이다. 특히 정밀도가 높고 형상이 복잡한 제품의 경우 제조단가의 대부분이 가공비에 할당되고 있는 실정이다. 세라믹스는 소결시 수축이 많이 일어나므로 소결후 연삭가공이 필요한데 비산화물계인 질화규소는 가공이 어려워 특히 높은 제조단가를 갖게 된다.
반응소결 질화규소는 많이 알려진 바와 같이 질화규소 분체보다 훨씬 경제적인 (가격이 약 20%정도) 규소 분말을 사용하므로 경제성의 입장에서 분명한 우위에 있다. 또한 세라믹분체로 출발한 소결제품의 경우 약 25%의 수축율이 발생하는 반면 반응소결 질화규소는 질화반응 공정후에 거의 수축이 발생하지 않는다. 이러한 작은 수축율은 곧 한 batch 내에서도 많은 제품의 처리가 가능함을 나타내는 것이며 이는 제품의 단가를 낮추는 것을 의미한다. 따라서 경제성이 요구되는 Advanced Ceramics의 개발의 일환으로 반응소결 질화규소는 흥미롭다 할 수 있다. 일반적으로 질화규소의 소결시 주로 산화물 소결조제를 첨가하여 고온에서 소결하는데, 질화규소의 표면에 형성되는 산화규소와 이들 소결조제와의 반응에 의해 입계등에 연와점이 낮은 유리상이 형성되기 때문에 사용온도가 크게 제한받고 있다. 반응소결의 경우 표면의 산화규소가 대부분 반응소결중에 SiO가스로 분해됨으로서 최종 고온 가스압소결후에는 유리상이 매우 적으며 따라서 고온특성이 우수한 잇점이 생기게 된다. 최근에는 물성을 향상시키기 위해 재소결(Post Sintering)의 다양한 기술들이 개발되어 통상의 방법으로 소결된 물성을 갖는 반응소결 질화규소의 제조가 가능하게 되었다.
반응소결시 질화율은 질소가스 분위기 와 출발원료의 상태에 크게 영향을 미치며 통상적으로 Flow 및 Static system 으로 대별된다. Flow system은 일정양의 질소가스가 지속적으로 성형체를 지나가도록 흘려주는 방법으로 입출입가스 의 분석이 용이하려 주로 실험실에서 사용되며, Static system 은 질소압을 일정하게 유지하면서 소비된 양만큼만 공급해주는 방식으로 산업체에서 사용되며 소모가스의 양은 줄일수 있으나 Flow system에 비해 가스압의 조절이 원할하지 못하다. 또한 소결조제의 양과 종류도 Post Sintering시 치밀화 뿐만 아니라 소결체의 미세구조및 기계적성질에 큰 영향을 미치게된다.
따라서 본 연구는 반응소결시 질화율에 큰 영향을 미치는 온도및 질소압조건에 대한 정밀성을 부여하기 위해 반응소결로에 컴퓨터 제어장치를 연결함으로서 Flow 및 Static system의 장점만을 할용하고, 이들조건들에 의해 얻어진 결과를 토대로 질화반응 Kinetics를 규명코자 한다. 국외의 공동연구자는 Si 의 표면반응분야의 세계적인 권위자로서 질화반응시 일어나는 여러현상들에 대한 열역학적인 고찰등을 공동연구 함으로서 보다 체계적이며 과학적인 질화기구 해석을 시도하고자 한다. 또한 기존의 질화규소의 소결조제로 사용되는 이트리아및 알루미나를 배제하여 천연제인 코디어라이트를 첨가하고자한다. 이는 가격이 종래의1/10 정도로서 경제성이 있으며 비교적 낮은 온도에서 액상을 만들어 소결시 알파상에서 베타상의 상변태를 촉진시켜 침상의 베타상을 얻음으로서 기게적 특성을 향상시키고자 한다. 또한 기존의 연구자들에 의한 특정제품위주 기술에서 벗어난 다기능성 질화규소의 개발이 연구목표 이다.
기대효과
본 과제의 성공적인 수행으로 다음과 같이 연구결과가 다양한 분야에 기여할 것을 기대 된다.
가) 학문적/기술적 측면
반응질화규소에 대한 대부분의 연구결과는 제조공정상의 여러변수에 의해 달라지며 특히 시편의 크기 가스공급시스템에 의해서도 질화기구의 해 ...
본 과제의 성공적인 수행으로 다음과 같이 연구결과가 다양한 분야에 기여할 것을 기대 된다.
가) 학문적/기술적 측면
반응질화규소에 대한 대부분의 연구결과는 제조공정상의 여러변수에 의해 달라지며 특히 시편의 크기 가스공급시스템에 의해서도 질화기구의 해석이 달라질수 있다. 비교적 큰 시편의 질화처리가 가능 한 본 실험의 결과 보다 정확한 질화기구의 규명, 질화규소 고인성화를 위한 Model 미세구조의 제시, 이들 미세구조의 이방성제어 기술등이 다른 세라믹스에도 적용가능 한지? 등의 학문적인 접근 이 가능하다고 판단된다. 기술적 측면으로는 세계 최고 수준의 강도/파괴인성을 갖는 질화규소 소결체의 개발, 고효율 열기관 및 고성능 High Power용 세라믹스 기판의 기술확보등 국내 세라믹스 업계의 기술 경쟁력 확보에 기여코자 한다.
나) 사회경제적 측면
질화규소 개발에 있어 가장 중요한 점 중의 하나가 경제성으로 1800 C 이하의 온도에서 충분히 치밀화된 질화규소를 얻을수 있다면, 상압소결에 의해 제조도 가능하게 되며 대량생산의 길도 열리게 된다. 또한 본연구가 성공적으로 수행되면 열기관용 구조세라믹 부품으로의 응용으로 활용될 수 있으며, 향후 전세계 베어링의 1/2정도가 질화규소 베어링으로 대체가 예상되는등 고성능 저가의 질화규소 제품으로 시장 경쟁력 확보도 가능하다. 아울러 환경적인 측면으로는 세라믹스 가스터빈의 경우 기존의 금속 재료와 비교해 보면 열효율이 2배 향상 되고, 탄소및 질소 산화물, 분진 배출량과 소음이 줄어 드는등 훨씬 유리하게 된다. 저가분말을 이용한 연구가 일본 미국 등의 선진국에서 시도 되었으나 사용된 분체가 충분히 저렴하지 않았고 연구밥법이 불순물만 일부 제거한 상태로 고가분체를 사용한 것으로 특성이 우수하지 못한 결과를 초래한 실정이다.
다) 인력양성 방안및 교육과의 연계
반응소결 질화규소의 제조시 질화율에 대한 대부분의 실험결과는 제조공정상의 여러 변수에 의해 크게 달라 질 수 있음에도 불구하고 기존의 실험은 온도및 가스압을 정밀하게 조절하지 못해 발생하는 오차를 줄이기 위해기 computer로 제어되는 Process control 로 보다 체계적으로 접근함으로서 질화기구의 명확한 해석이 가능할 것으로 기대 된다. 아울러 본 연구자의 금속및 여러 세라믹 재료의 특성에 대한 그동안의 연구경험과 미국에서의 공동연구자와의 학문적/인적교류 를 통한 귀한 경험이 당초 목표로하는 다기능성 질화규소의 개발에 한발 더 다가 갈 수 있으며 귀국 후 이를 기초로 한 국내외 타 연구기관과의 공동 프로젝트 수행 , 관련 국책사업등에 대학원생을 참여시키는등 인력 양성에도 힘써 궁극적으로 차세대 첨단소재 개발 및 산업발전에 기여 할 것으로 기대된다.
연구요약
규소분말로 출발하여 질화한후 가스압 소결하여 경제적인 질화규소 제조공정을 개발하고자 하는 본연구과정은 다음과 같이 요약 할 수 있다.
규소분말로 출발하여 질화한후 가스압 소결하여 경제적인 질화규소 제조공정을 개발하고자 하는 본연구과정은 다음과 같이 요약 할 수 있다.
1. 연구내용 SRBSN(sintered reaction bonded silicon nitride)의 기계적 물성은 규소 성형체를 질소분위기에서 반응소결 시킨 RBSN의 특성에 의해 좌우 된다. 반응소결 질화규소는 보통 80-85%의 치밀도를 갖는데 이러한 치밀도는 고성능의 부품소재로 사용하기 에는 너무 낮아 기계적강도, 내마모성, 내산화성등에 문제점이 발생한다. 따라서 치밀도를 향상 시키기 위해 후처리(Post Sintering)를 하게 되며 이때 사용되는 소결조제는 규소나 질화규소의 표면의 산화규소와 반응하여 액상을 만들어 소결을 촉진하여 치밀화에 이르게 한다. 그러나 동시에 입계에 유리상을 형성하여 고온에서의 기게적 물성을 저하시키므로 이의 선택(종류 및 양)은 매우 중요하다고 할 수 있다. 본 연구는 코디어라이트의 양을 달리 하여 질화반응 한후 two step으로 후처리 한후의 소결체의 기계적 물성에 미치는 소결조제의 양및 ball milling 시간 및 질소가스압의 영향을 조사하고자 한다.
2.연구방법
2-1.소결체의 제조
혼합분말을 제조하기 위해 규소 분말과 소결조제를 milling media인 질화규소 볼과 함께 plastic jar에 투입한후 용매인 에탄올에 가하여 milling 한 후 교반, 건조 시킨후 예비 성형체를 만든다. 냉간정수압을 거친후 반응소결은 computer 제어장치가 되어 있는 흑연진공 분위기로에서 행함으로서 실험결과에 온도및 가스압의 오차를 줄이고자 한다. 질화규소는 공유결합성이 강하며 소결을 위해 고온이 요구되는 난 소결체로서 이러한 단점을 극복하기 위해 소결중에 액상을 형성하는 소결조제를 넣게 된다. 그러나 약 1900 C의 온도에서 분해가 일어 남으로 가스압소결법(GPS)으로서 분해반응을 억제시켜 높은 온도에서도 질화규소를 소결 할수 있다. 또한 가스압소결의 결과 입자성장이 쉽게 일어나 장경비(aspect ratio)가 큰 입자들이 존재하는 미세 구조를 얻을 수 있다. 이러한 미세 구조를 갖는 질화규소는 파괴인성이 높고 신뢰성이 우수한 장점이 있으며, 복잡한 형상을 가진 제품의 소결이 가능하며, 가압이므로 적은 양의 소결조제로도 소결이 가능하다. 본연구에서는 천연재면서 저가인 코디어라이트를 소결조제로 사용하여 제조한 소결체의 물성및 미세구조의 관찰을 통하여 기존의 물성치와의 비교를 시도하고자하며 특히 공동연구자는 규소의 표면에서의 화학반응을 포함한 반도체의 기계적특성, 각종센서개발에도 유명한 학자로서 공동연구기간동안 학문적 교류를 통하여 보다 체계적이며 과학적인 질화기구 규명에도 다가서고자 한다.
2-2 물성 측정
각 시편을 표면 연삭 및 절단하여 Diamond suspension으로 1 마이크론 까지 polishing 한후 3점 곡강도 , 경도, Kc 등의 기계적 특성을 측정하고 미세조직변화를 파악하기 위해 각 시편의 파단면을 SEM으로 관찰 한다. 각 온도에서의 상변화를 알기 위해 XRD 분석을 실시하며 치밀화 정도를 알기 위해 아르키메데스 원리에 의한 밀도 측정을 한다.
한글키워드
3점 곡강도,고압,가스압소결,미세구조,열엔진,동적,아르키메데스,경도,미세조직,주사식 전자 현미경,연마,속도론,기구,후처리,장경비,반응소결,상압소결,코디어라이트,정적
영문키워드
Pressureless sintering,magnetic bar,ball milling,static,flow,neat net shape,gas pressure sintering,hot press,heat engine,reactin bonded silicon nitride,cordierite,microstructure,in-situ reinforced silicon nitride,aspect ratio,diamon suspension,XRD,SEM,Kc,polishing,three point flexural strength,kinetics,schedule,mold,mesh,plastic jar
결과보고시 연구요약문
국문
최근 구조 세라믹스의 중요성이 더욱 대두되면서 금속재료보다 높은 내열성, 내마모성, 낮은 비중, 현저히 높은 사용온도 등의 특성을 지닌 질화규소를 열엔진 기관에 적용하기 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. Si3N4는 비산화물계 세라믹스의 대표적인 재료로서 he ...
최근 구조 세라믹스의 중요성이 더욱 대두되면서 금속재료보다 높은 내열성, 내마모성, 낮은 비중, 현저히 높은 사용온도 등의 특성을 지닌 질화규소를 열엔진 기관에 적용하기 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. Si3N4는 비산화물계 세라믹스의 대표적인 재료로서 heat engine등을 포함한 고온 구조물의 내열재료로써 활발히 응용이 추진되었다. 질화규소는 강한 공유결합으로 인하여 자기확산이 어렵고 고온에서의 열분해 때문에 소결온도가 제한되는 난소결성 재료이기 때문에 일반적으로 가압(Hot press)또는 가스압소결(G.P.S)을 이용하여 2000oC부근에서 소결되어 치밀화가 이루어지고 있다. 이에 반하여 반응소결법은 Si 성형체를 1200~1400 oC에서 질소가스와 반응시켜 Si3N4 소결체를 얻는 방법으로 성형체와 소결체간의 치수 변화가 거의 없어 near-net-shape의 소결체를 얻을 수 있다는 장점과 제조온도가 낮다는 장점을 지니고 있다. 본 연구에서는 반응소결 질화규소의 제작시 질화율에 큰 영향을 미치는 온도 및 질소압 조건에 대한 정밀성을 부여하기 위하여 반응소결용 로에 computer 제어 장치를 연결함으로써 온도와 질소압을 보다 미세하게 조절하였고, 특히 이러한 장치를 이용하여 dynamic flowing state 대신 일정 질소압을 유지시키는 static state 조건으로 질화반응을 일으킴으로써 질소가스의 소모량을 줄임과 동시에 질화반응에 미치는 질소 가스압의 영향, 및 소결체의 치밀화 거동과 기계적 물성을 비교 조사하는 것이 연구 목적이었다. 또한 기존의 국내외에서 연구자들에 의한 개발된 특정 제품제조기술 위주에서 벗어난 다기능 질화규소의 개발에 주안점을 두며 또한 통상적으로 질화규소의 소결에 사용되는 이트리아및 알루미나 등에 비교하여 천연재인 코디어라이트(Cordierite: 2MgO-2 Al2O3-5SiO2)를 소결조제로 시도하였다. 이는 가격이 종전의 소결조제에 비해 약 10분의 1 정도로서 경제성이 있으며 비교적 낮은온도에서 액상을 만들어 소결반응시 알파상에서 베타상으로의 상변태를 촉진시켜 침상의 베타상을 쉽게 얻음으로서 기계적 특성을 향상을 기대할수 있으며 본 연구의 결과 다음과 같은결론을 얻었다.. 1)90% 이상의 질화율 을 전 시편에 걸쳐 얻었으며, 소결조제의 양이 증가할수록 지질화율은 다소 감소 하였다. 알파상과 베타상의 질화규소가 모두 관찰 되었고 코디어라이트의 양이 증가 할수록 더 많은 양의 베타상이 존재하였다. 이는 코디어라이트의 양의 증가에 따라 더 많은 양의 액상이 존재하게 되어 변태를 촉진하기 때문이다. 2)상대 밀도는 1750C와 1800 C에서 3시간 후 소결한 결과, 온도가 높을수록, 소결조제의 양이 많을수록 높은 수치를 나타내는 전형적인 경향을 보였다.아울러 비커스인덴테이션 법을 이용하여 파괴인성치를 계산 하였다( 3.59±0.28 MPa m1/2 ). 3)1800 C에서 3시간 소결한후의 전자현미경 사진 관찰 결과 수소가스를 질소에 첨가 시킨 효과로 미세하고도 균일한 미세구조를 얻었다.
영문
-Silicon nitride is readily becoming an important high temperature material in modern industry. Silicon nitride is shown to have high strength, excellent thermal shock resistance, chemical stability , and excellent creep resistance. However, the drawb ...
-Silicon nitride is readily becoming an important high temperature material in modern industry. Silicon nitride is shown to have high strength, excellent thermal shock resistance, chemical stability , and excellent creep resistance. However, the drawback with the use of silicon nitride is its high cost. This comes from the extensive processing needed to synthesize the unnaturally forming materials. Recently, the potential of using reaction-bonded silicon nitride ceramics has been re-evaluated due to their low cost of fabrication. In order to improve the mechanical properties of RBSN ceramics, a technique of post sintering after nitridation(SRBSN)has been developed and the SRBSN ceramics after post sintering are now improved to those of sintered Si3N4. There are two methods to produce RBSN depending on the supply of nitrogen gas. One is a flow (dynamic) system, which is normally used in laboratory since entry and exit gas can be easily analyzed. The other is a static system, which is often used in commercial producers of RBSN. In the present study, we employed a computer-controlled graphite furnace that provides precise control of the reaction temperature and pressure. We also would like to use cordierite(2MgO-2Al2O3-5SiO2)as a new candidates for sintering aids, which is non-artificial and very cheap material. This system also forms glass - ceramic materials having high electrical resistivity and high mechanical strength.
-Reaction bonded silicon nitride(RBSN) has been fabricated from Si powder with cordierite as a sintering aids. More than 90% nitridation rate was obtained in each specimen. As the amount of cordierite increases, the nitridation rates decreases. Both α- and β Si3N4 are formed during the nitridation of silicon to Si3N4. There were more beta crystals in the specimen with higher cordierite content since the amount of liquid phases needed for transformation of Si to beta silicon nitride were large enough. The Si2N2O peak was also observed because SiO(g) formed in the early stage of nitridation reacted with N2 gas to produce Si2N2O. It was believed that Si2N2O grows from a liquid phase. The relative densities increases when the amount of cordierite increases. Also higher sintering temperature ensures higher density.Fracture toughness of 3.59 ±0.28 MPa m1/2 was obtained for the specimen containing 18 wt% cordierite sintered at 1800℃ for 3 hours.
연구결과보고서
초록
최근 구조 세라믹스의 중요성이 더욱 대두되면서 금속재료보다 높은 내열성, 내마모성, 낮은 비중, 현저히 높은 사용온도 등의 특성을 지닌 질화규소를 열엔진 기관에 적용하기 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. 기존의 국내외에서 연구자들에 의한 개발된 특정 제품제 ...
최근 구조 세라믹스의 중요성이 더욱 대두되면서 금속재료보다 높은 내열성, 내마모성, 낮은 비중, 현저히 높은 사용온도 등의 특성을 지닌 질화규소를 열엔진 기관에 적용하기 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. 기존의 국내외에서 연구자들에 의한 개발된 특정 제품제조기술 위주에서 벗어난 다기능 질화규소의 개발에 주안점을 두며 또한 통상적으로 질화규소의 소결에 사용되는 이트리아및 알루미나 등에 비교하여 천연재인 코디어라이트(Cordierite: 2MgO-2 Al2O3-5SiO2)를 소결조제로 시도하였다. 이는 가격이 종전의 소결조제에 비해 약 10분의 1 정도로서 경제성이 있으며 비교적 낮은온도에서 액상을 만들어 소결반응시 알파상에서 베타상으로의 상변태를 촉진시켜 침상의 베타상을 쉽게 얻음으로서 기계적 특성을 향상을 기대할수 있었다.
연구결과 및 활용방안
코디어라이트를 소결조제로 사용한 질화규소의 상압소결에 관한 본 연구의 결과는 다음과 같이 요약된다.
1.연구결과
-코디어라이트의 첨가량에 따른 질화율의 변화는 90-95%의 범위였으며 이는 통상적인 이트리아/알루미나 소결조제를 사용한 경우보다 다소 낮은 ...
코디어라이트를 소결조제로 사용한 질화규소의 상압소결에 관한 본 연구의 결과는 다음과 같이 요약된다.
1.연구결과
-코디어라이트의 첨가량에 따른 질화율의 변화는 90-95%의 범위였으며 이는 통상적인 이트리아/알루미나 소결조제를 사용한 경우보다 다소 낮은데 이는 본 연구의 경우 사용된 MgO의 존재가 그 원인으로 통상적으로 MgO가 존재하면 유리의 점성이 낮아지고 물질의 확산 속도가 증가 하게 된다. 따라서 치밀화가 변환의 속도 보다 더 빠른 경향이 생기게 된다. 이트리아가 첨가된 경우는 위와 상반된 결과를 가지기 때문이다.
-질화과정후의 X 선 분석 결과인데 존재하는 알파 와 베타의 상대적인 양을 구하였으며 코디어라이트의 양이 증가 할수록 더 많은 양의 베타상이 존재하였다. 이는 코디어라이트의 양의 증가에 따라 더 많은 양의 액상이 존재하게 되어 변태를 촉진하게 되며 아울러 질화과정동안 형성되는 질화규소의 총량도 더 작으므로 변태에 유리한 것으로 판단된다. 또한 실리콘 옥시나이트라이드도 함께 형성됨이 확인 되었는데 질화반응초기에 형성된 SiO 가스가 질소와 반응하여 알파상의 질화규소 또는 Si2N2O를 만드는 것으로 알려져 있으며, 이 상은 포화된 용해질소로부터 성장하는 것으로 알려져 있다.
-상대 밀도는 1750C와 1800 C에서 3시간 후 소결한 결과 온도가 높을수록, 소결조제의 양이 많을수록 높은 수치를 나타내는 전형적인 경향을 보였다.1800℃에서 3시간 소결한후의 전자현미경 사진으로 수소가스를 질소에 첨가 시킨 효과로 미세하고도 균일한 질화규소의 네트워크형성에 도움을 준 것으로 사료된다. 즉 SiO의 존재자체가 미세기공의 형성에 도움을 준다고 보고된바 있다.
-비커스 인덴테이션 법을 이용하여 파괴인성치를 계산 하였고 그값은 3.59±0.28 MPa m1/2 인데 이는 통상적인 값보다 다소 낮은데 이는 코디어라이트의 존재와 직접관련되어 있으며 대체적으로 소결조제는 10wt%를 넘지 않아야 한다고 알려져 있으며 18Wt%를 첨가하여 1800 C에서 3시간 소결한 본 실험에서 예상 되는 값이라 볼 수있다.
2. 활용방안
가) 학문적/사회적 기여도
비교적 큰 시편의 질화처리가 가능한 Graphite Furnace와 정밀한 Gas Flowing System으로 연구될 본 실험결과가 정확한 질화반응 기구 규명에 접근할 수 있고 Large Scale 의 RBSN 의 제조로 상용화에 접근할 수 있으리라 기대된다. 또한 질화규소 개발에 있어 가장 중요한 점 중의 하나가 경제성으로 1800℃이하의 온도에서 충분히 치밀화된 질화규소를 얻을 수 있다면, 상압소결에 의해 물성이 우수한 질화규소를 제작 할 수 있게 되고 연속로 등을 통한 대량생산의 길도 열리게 되어 가격경쟁력을 향상시킬 수 있다.
나) 인력양성 방안 및 교육과의 연계
본 연구결과에서 얻은 computer controling system을 이용하면, process control이 용이함에 따라 질화반응 기구에 대한 좀 더 정확한 규명에 접근할 수 있었고,, 본 연구자의 금속 및 여러 세라믹 재료의 특성에 대한 그 동안의 연구경험과 Georgia Institute of Technology 의 1년 동안의 공동연구의 결과 목표로 하는 다기능성 질화규소 세라믹스의 개발에 더욱 근접할 수 있다고 믿는다. 저가분말을 이용한 연구는 일본, 미국등 다른 선진국에서 이미 시도 된바 있으나, 사용된 분체의 가격이 수십 US dollars/ kg으로 충분히 저렴하지 않았고 연구방법도 불순물만 일부 제거한 상태로 고가분체를 사용하는 경우와 같은 공정으로 특성이 충분히 우수하지 못한 결과를 초래 하였다. 국외의 공동연구자는 규소의 표면 반응분야의 세계적인 권위자로서 연구기간 중 특히 Nitridation Kinetics분야에 대하여 체계적이며 심도 높은 교류를 통해 이들 기구의 명확한 규명에 큰 도움을 얻었으며 이를 기초로 하여 타 연구소와 공동프로젝트 수행, 관련 국책사업 등에 대학원생을 참여 시키는 등 인력양성에도 힘써, 궁극적으로 차세대의 첨단소재개발 등에 활용하고자 한다.