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https://www.krm.or.kr/krmts/link.html?dbGubun=SD&m201_id=10007005&local_id=10018870
화합물반도체 MOSFET응용을 위한 희토류 산화막 게이트 형성
Reports NRF is supported by Research Projects( 화합물반도체 MOSFET응용을 위한 희토류 산화막 게이트 형성 | 2004 Year 신청요강 다운로드 PDF다운로드 | 양준규(연세대학교) ) data is submitted to the NRF Project Results
Researcher who has been awarded a research grant by Humanities and Social Studies Support Program of NRF has to submit an end product within 6 months(* depend on the form of business)
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  • Researchers have entered the information directly to the NRF of Korea research support system
Project Number D00038
Year(selected) 2004 Year
the present condition of Project 종료
State of proposition 재단승인
Completion Date 2007년 10월 30일
Year type 결과보고
Year(final report) 2007년
Research Summary
  • Korean
  • 본 연구에서는 GaAs 화합물 반도체에 MOS 게이트 형성을 위하여 Gd2O3, Gd-silicate 등의 다양한 산화막을 n-GaAs (001)위에 형성하였다. GaAs 표면은 대기 노출 및 이종원소 형성 시 화학적으로 매우 불안정한 표면 상태를 나타내기 때문에 표면 보호막 형성을 위한 유황처리는 필수적이다. 산화막은 GaAs 기판과의 화학적 안정성, 전기적 절연성, 유전상수, 밴드갭 및 에너지 밴드구조를 고려하여 선택되었다. 희토류 산화막을 기본으로 하여 x-선 광전자 분광, x-선 회절 분석, 그리고 방사광 가속기를 활용한 구조적/결합적 특성 및 에너지 밴드구조 특성과 MOS 다이오드의 전기적 특성을 연계하여 해석하여 GaAs MOSFET으로의 응용가능성을 타진하였다. 현재까지 본 연구를 통하여 제시되고 있는 주요 결과들을 정리하면 다음과 같다. 유황처리 된 GaAs (001) 표면에서는 페르미 에너지를 전도대로 이동시켜 Gd2O3 산화막과의 에너지 밴드구조 고려 시 전자이동 장벽을 증가시키는 것으로 확인되었다. 표면보호막 형성 후에는 400oC의 진공열처리 온도에서도 Gd2O3와 GaAs의 계면 반응이 나타나지 않았으며, GaAs 계면 또한 초기에 형성된 Ga-S 결합이 계면 산화와 반응을 억제한 것으로 확인되었다. Gd2O3에 SiO2가 첨가하여 Gd-silicate 비정질 산화막을 형성하여 입자나 입계에 의한 결함의 트랩이나 전류흐름의 통로제공 등의 효과를 억제하였다. 희토류 산화물과 SiO2의 증기압차이를 고려하여 전자빔 증착용 타깃을 조성별로 제작하여 Gd-silicate 박막을 형성하였다. 유황처리를 통한 표면보호막의 형성으로 산화막 증착 과정 중의 GaAs 기판의 계면 산화를 방지할 수 있었다. SiO2의 높은 밴드갭에 의하여 Gd-silicate 산화막에서는 일반 희토류 산화막보다 높은 밴드갭이 측정되었다. (Gd2O3)1-x(SiO2)x 박막에서는 x=0.82에서 약 7.3 eV의 밴드갭이 계산되었다. Gd-silicate에서 SiO2의 첨가량에 따른 밴드갭의 변화로부터 에너지 밴드를 형성하는 ΔEC, ΔEV 및 Eg와 주요 파라미터의 조절이 조성에 따라 가능함을 확인하였다. Gd-silicate 박막의 전기적 특성은 주로 조절된 ΔEC에 따라 산화막과 n-GaAs 기판과의 계면에 존재하는 터널링 장벽 높이에 크게 의존하는 것으로 관찰되었다. Log(J/E2)-1/E의 관계로부터 Fowler-Nordheim 터널링 메커니즘을 통하여 전기적 특성이 설명되었다. 에너지 밴드구조의 조절이 자유로운 Gd-silicate 산화막은 비교적 큰 ΔEC로 GaAs MOS 소자를 위한 새로운 후보물질이라 하겠다.

  • English
  • In this work, the formation of MOS structure for gate oxide on GaAs has been investigated as an alternative of Schottky gate or Si CMOS. The gate oxide films were e-beam evaporated considering interfacial chemical bonding state and energy band structure. Since the GaAs shows a very unstable surface characteristics, the passivation with sulfur mono-layer is indispensible for deposition process.
    Rare-earth oxides such as Gd2O3 and Gd-silicate were employed to be formed on n-GaAs (001) because of high resistivity and no chemical reaction with the substrate. Structural and bonding properties were characterized mainly using XPS and synchrotron radiation. The electrical properties of MOS diodes were correlated with material properties and energy band structures to guarantee the feasibility for MOSFET application. After S-passivation, the interfacial reaction between Gd2O3 and GaAs was not observed at the substrate temperature of 400oC. It was confirmed that the Ga-S bond prohibited the interfacial oxidation and reaction.
    Next, the Gd-silicate was synthesized by incorporation of SiO2 into Gd2O3. These amorphous silicate films excludes the effect of defect trap or current flow path by grain or grain boundaries. The films were e-beam evaporated from the mixed targets of silicate. It was fabricated considering the vapor pressure of competing elements. The GaAs surface was sulfur-passivated to prohibit the interfacial oxidation during oxide deposition. Amorphous Gd-silicate film shows a relatively larger energy band gap, which is dependent on the contents of SiO2. The energy band parameters such as ΔEC, ΔEV, and Eg were effectively controlled by adjusting the film composition. The electrical properties of Gd-silicate films indicated Fowler-Nordheim tunneling mechanism, limited by the electron tunneling barrier height (ΔEC) at the interface between the oxide films and n-GaAs. The larger ΔEC resulted in the reduction of leakage current. Gd-silicate films would be one of possible candidates for GaAs MOSFET due to tunable energy band structure and large ΔEC.

Research result report
  • Abstract
  • 본 연구에서는 GaAs화합물 반도체 게이트로 기존에 사용되는 Schottky금속
    대신 게이트 산화막의 적용을 통한 MOS 구조 형성을 시도하였다.이를 위하여
    GaAs기판과의 계면 결합 특성 및 에너지 밴드구조를 고려하여 여러 가지 산화
    막에 대하여 전자빔 증착을 사용하여 박막을 형성하였다.GaAs표면은 화학적으
    로 매우 불안정한 표면상태를 보이고 있기 때문에 유황처리를 통한 표면 보호막
    형성은 필수적이다.
    절연특성이 우수하고 GaAs와 화학적 반응이 거의 없는 산화막의 선택을 위하
    여 희토류 산화막을 기본으로 하여 Gd2O3,(GdxLa1-x)2O3,Ln-silicate(Ln=Gd,La)
    등의 산화막을 n-GaAs(001)기판위에 형성하였다.XPS와 방사광 가속기를 활용
    한 구조적/결합적 특성 및 에너지 밴드구조 특성을 바탕으로 MOS 다이오드의 전
    기적 특성을 해석하여 GaAsMOSFET으로의 응용가능성을 타진하였다.
  • Research result and Utilization method
  • Gd2O3박막은 유황처리 된 GaAs(001)위에서 in situ heating 증착을 통하여
    단결정 에피성장이 가능하였다.HCl-식각된 GaAs위에 형성된 Gd2O3 박막은 계
    면 Ga2O3의 형성으로 인하여 기판배향의 영향을 완벽하게 받지 못하여 에피성장
    이 크게 억제되었다.실제로 gadolinium gallium garnet타깃을 이용하여 계면에
    Ga2O3를 5nm 형성 후 400oC에서 증착된 Gd2O3 박막은 상형성이 전혀 이루어지지
    않았다.이는 GaAs(001)면 위에서 에피성장하는 경우 결정화온도가 크게 감소함
    을 의미하고,특히 GaAs기판의 유황처리는 산화막 형성 직전까지 안정적으로 표
    면을 보호한 것으로 확인되었다.또한 유황처리는 계면 에너지 밴드구조에서 페르
    미 에너지를 전도대로 이동시켜 Gd2O3 산화막과의 에너지 밴드구조 고려 시
    n-GaAs에서 Gd2O3로의 전자이동 장벽을 증가시키는 효과를 제공하였다.
    Phi scan 분석을 통하여 Gd2O3 박막의 (440)면과 GaAs (001)면은
    [001]Gd2O3//[1-10]GaAs및 [110]Gd2O3//[001]GaAs의 in-plane관계를 가지고 에피성장 관계를 가지는 것으로 확인되었다.그러나 35.28Å x 15.35Å 에 이르는 장거
    리 격자 정합에 의하여 in-plane방향에서 각각 +1.9% 및 -3.9%의 격자 부정합이
    발생한다.따라서 Gd2O3의 양이온을 이온반경이 큰 원소로의 치환으로 격자 부정
    합의 감소를 유도하기 위하여 La을 이용하였다. (GdxLa1-x)2O3에서 x=1에서
    x=0.34부근까지 Gd2O3와 La2O3는 완벽한 고용체를 형성하였다.혼합조성에 따라
    산화막의 (431)면과 GaAs(001)면과의 에피성장 면인 (440)면이 함께 형성되었다.
    400oC의 증착온도에서 (440)면은 어느 조성에서나 GaAs(001)면과 in-plane관계
    를 유지하였고,조성이 x=0.95이상이 되면서 산화막의 (440)면만 관찰되기 시작하
    였고,그 이하에서는 (431)면이 함께 성장하였다.Gd2O3의 경우에 증착 온도가 증
    가함에 따라 (440)면의 성장이 우선적으로 나타난 바 있다.이를 통하여 La2O3의
    첨가가 (GdxLa1-x)2O3 산화막의 상형성 온도를 증가시켰음을 확인하였다.La2O3가
    미량 첨가된 (GdxLa1-x)2O3 박막에서는 격자상수 증가에 따른 misfitdislocation의
    감소로 (440)면의 결정성이 향상됨을 rocking curve의 FWHM 분석으로 확인할
    수 있었다.따라서 표면 유황보호막 형성과 양이온 치환을 통한 격자상수 조절로
    에피성장 된 산화막의 결정성을 더욱 향상시킬 수 있었다.
  • Index terms
  • GaAs, MOSFET, Gd2O3, GLO, Ln-silicate
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